APC

Etch Chamber Pressure가 흔들리는 이유는? APC, Throttle Valve, Vacuum Pump, MFC와 Pressure Sensor의 원리부터 압력 불안정 원인 7가지와 Troubleshooting 방법까지 장비 관점에서 설명합니다. Etch 장비를 다루면서 생각보다 중요하다고 느끼는 Parameter 중 하나가 바로 Chamber Pressure입니다. 처음에는 저는 Pressure를 단순히 Chamber 내부의 압력이라고만 생각했습니다. Recipe에서 20mTorr를 요구하면 실제 Pressure도 20mTorr에 맞춰지고, 그 상태를 유지하면 되는 것 … 더 읽기