Etch Chamber

Etch Chamber Seasoning이란? PM 후 바로 Wafer를 투입하지 않는 이유

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Etch Chamber Seasoning 원리와 PM 이후 Wafer 투입 전 공정 안정화 과정

Etch Chamber Seasoning이란 무엇일까요? PM 후 바로 Wafer를 투입하지 않는 이유부터 Chamber Wall, Plasma Chemistry, First Wafer Effect와 공정 안정화 원리까지 장비 관점에서 설명합니다. Etch 장비를 다루면서 처음에는 이해하기 어려웠던 과정 중 하나가 바로 Chamber Seasoning이었습니다. 장비 PM(Preventive Maintenance)을 진행하면 Chamber 내부를 Cleaning하고, 필요한 Parts를 점검하거나 교체합니다. 오염된 부분을 깨끗하게 만들고 문제가 있는 부품도 정비했으니 … 더 읽기

Etch Chamber Pressure가 흔들리는 이유 7가지｜APC·Throttle Valve·Pump 원리

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Etch Chamber Pressure 썸네일

Etch Chamber Pressure가 흔들리는 이유는? APC, Throttle Valve, Vacuum Pump, MFC와 Pressure Sensor의 원리부터 압력 불안정 원인 7가지와 Troubleshooting 방법까지 장비 관점에서 설명합니다. Etch 장비를 다루면서 생각보다 중요하다고 느끼는 Parameter 중 하나가 바로 Chamber Pressure입니다. 처음에는 저는 Pressure를 단순히 Chamber 내부의 압력이라고만 생각했습니다. Recipe에서 20mTorr를 요구하면 실제 Pressure도 20mTorr에 맞춰지고, 그 상태를 유지하면 되는 것 … 더 읽기