Etch Chamber Seasoning이란? PM 후 바로 Wafer를 투입하지 않는 이유
Etch Chamber Seasoning이란 무엇일까요? PM 후 바로 Wafer를 투입하지 않는 이유부터 Chamber Wall, Plasma Chemistry, First Wafer Effect와 공정 안정화 원리까지 장비 관점에서 설명합니다. Etch 장비를 다루면서 처음에는 이해하기 어려웠던 과정 중 하나가 바로 Chamber Seasoning이었습니다. 장비 PM(Preventive Maintenance)을 진행하면 Chamber 내부를 Cleaning하고, 필요한 Parts를 점검하거나 교체합니다. 오염된 부분을 깨끗하게 만들고 문제가 있는 부품도 정비했으니 … 더 읽기